Arion Juritza

TU Berlin, Institut für Mechanik
Fachgebiet Kontinuumsmechanik und Materialtheorie
Fakultät V
z.H. Herrn Juritza
Einsteinufer 5
D-10587 Berlin

• Raum MS-211
• Tel.: 314-22914
• Tel.: 314-28310
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• Sprechstunden: n.V.
  

Die Probenhöhe wird so eingestellt dass der Laserstrahl sich in der Mitte des Detektors befindet.

Dies wird von der Steuerungselektronik registriert und die Probenposition so lange angepasst, bis der Laserstrahl sich wieder im Detektormittelpunkt befindet. Diese Piezo-Höhenregelung wird zur Topographieermittlung herangezogen.

max. Scanbereich: XY = 40 µm , Z = ~ 4 µm